অ্যাপ্লিকেশন পটভূমি
চিপ তৈরিতে ড্রাই-এচিং প্রক্রিয়া ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। সিলিকন ওয়েফারটি এচিং চেম্বারের নীচে পজিটিভ ইলেক্ট্রোড হিসাবে স্থাপন করা হয়। ঘন ছোট ছিদ্রযুক্ত গ্যাস বিতরণ প্লেট, যা নেগেটিভ ইলেক্ট্রোড হিসাবে কাজ করে, চেম্বারের উপরে লাগানো হয়। সঠিক ভোল্টেজ প্রয়োগ এবং অম্লীয় প্লাজমা এচিং গ্যাস প্রবেশ করানোর মাধ্যমে, লিথোগ্রাফি দ্বারা সংজ্ঞায়িত সার্কিট প্যাটার্ন অনুসারে উচ্চ-তাপমাত্রার চেম্বারের ভিতরে সিলিকন ওয়েফারের উপর মাইক্রো-ফ্যাব্রিকেশন করা হয়, যাতে ওয়েফারের পৃষ্ঠটি কাঙ্ক্ষিত লাইন প্রস্থ এবং গভীরতায় এচ করা যায় এবং মাইক্রো-ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরি করা যায়।
উপরের এবং নীচের ইলেক্ট্রোডগুলি সরাসরি প্লাজমার সংস্পর্শে থাকে। সিলিকন ওয়েফার এচিং করার সময়, প্লাজমা উভয় ইলেক্ট্রোডকেও ক্ষয় করে। ইলেক্ট্রোডগুলি এচিং গ্যাসের দ্বারা ধীরে ধীরে শারীরিক এবং রাসায়নিক ক্ষয়ের শিকার হয়। একটি নির্দিষ্ট স্তরে ক্ষয় হয়ে গেলে, অভিন্ন এচিং নিশ্চিত করার জন্য ইলেক্ট্রোডগুলি প্রতিস্থাপন করতে হবে। উপরের ইলেক্ট্রোডের (শাওয়ার হেড / গ্যাস বিতরণ প্লেট) সমানভাবে বিতরণ করা ছিদ্রগুলি এচিং-গ্যাস ক্ষয়ের কারণে মাত্রার বিচ্যুতি ঘটায় এবং সহনশীলতার সীমা অতিক্রম করলে প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন হয়।

সমাধান বিশ্লেষণ
মনোক্লিনাল সিলিকনের উপর φ0.45 মিমি PCD মাইক্রো-ড্রিল মেশিনিং-এর পরীক্ষাগুলি ন্যূনতম ছিদ্র-প্রান্তের চিপিং দেখায়। মাইক্রোস্কোপ পরিদর্শনে, ছিদ্রের গোলাকারতা সহনশীলতা 0.005 মিমি-এর কম, মাত্রিক নির্ভুলতা ±0.003 মিমি-এর মধ্যে, এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতা ≤Ra0.2 μm, যা গ্রাহকের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
প্রাথমিক পরীক্ষাগুলিতে, ড্রিলটি 3500টি ছিদ্র মেশিনিং করার পরে সামান্য প্রান্তের ক্ষয় দেখায় এবং ব্যবহারযোগ্য থাকে।
Worldia PCD মাইক্রো-ড্রিলগুলি প্রক্রিয়াকৃত উপকরণ এবং অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতি অনুসারে চারটি সিরিজে (WZ1, WZ2, WZ3 এবং WZ-X) বিভক্ত, যার ব্যাস পরিসীমা φ0.1-φ1.0 মিমি। সলিড PCD ড্রিলগুলি সেলফ-সেন্টারিং ডিজাইন গ্রহণ করে, যা সর্বোচ্চ 57:1 গভীরতা-থেকে-ব্যাস অনুপাত সমর্থন করে। চিপ-ফ্লুটগুলি মসৃণ চিপ নিষ্কাশনের জন্য ইন্টিগ্রাল গ্রাইন্ডিং দ্বারা তৈরি করা হয়। মেশিনিং করা ছিদ্র-প্রাচীরের ফিনিস Ra0.2 μm বা তার চেয়ে ভাল হতে পারে সামান্য ছিদ্র-প্রান্তের চিপিং সহ। PCD ড্রিল টিপ চমৎকার পরিধান প্রতিরোধ ক্ষমতা, দীর্ঘ টুল জীবন এবং উচ্চ মাত্রিক সামঞ্জস্য প্রদান করে। পণ্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে মনোক্লিনাল সিলিকন, পলিক্লিনাল সিলিকন, SiC, সিরামিক, ফিউজড সিলিকা এবং অন্যান্য উপকরণগুলির মাইক্রো-হোল মেশিনিং চাহিদা পূরণ করে।

ডেটা উৎস: বেইজিং ওয়ার্ল্ডিয়া ডায়মন্ড টুলস কোং, লিমিটেডের প্রিসিশন টুল টেকনোলজি বিভাগের টুল টেস্ট রিপোর্ট।

 আরও তথ্যের জন্য, অনুগ্রহ করে ভিজিট করুন: 

www.worldia-tools.com

অথবা অনুসন্ধান পাঠান: info@worldia-tools.com